ENTEGRIS溶氧傳感器DPAAAHEA24W

光學監(jiān)控解決方案，用于檢測和監(jiān)控化學鍍應用中的低溶解氧水平 。化學電鍍工具和電鍍槽中溶解氧的存在給工藝化學帶來了巨大挑戰(zhàn)。不受控制的溶解氧水平會導致反應率降低和觸點腐蝕加劇。為了滿足這一重要的工藝要求，我們推出了 InVue 溶氧傳感器，這是一種新型的、基于光學的高靈敏度發(fā)光體（傳感器），專門針對高純度、腐蝕性化學鍍工具和鍍液應用。

利用成熟的發(fā)光和檢測技術，InVue 溶解氧傳感器能持續(xù)測量溶解氧水平，并將對化學電鍍應用的干擾降低。InVue 傳感器在 PTFE 外殼中使用清潔的硅樹脂濕膜，可監(jiān)測金屬活性電鍍化學反應中的溶解氧水平。這可以提高工藝產量，延長工具和工藝化學劑的使用壽命，并降低運營成本。InVue 傳感器還有可能為下一代 20 nm以下的前端生產線 (FEOL) 和后端生產線 (BEOL) 提供類似的優(yōu)勢。

高靈敏度溶氧發(fā)光體

數(shù)字報警輸出，可在發(fā)光體壽命結束時提前顯示

連續(xù)模式操作

用于校準的 GUI 軟件

不消耗氧氣

兩個模擬輸出

濃度：快速響應，可進行準確的濃度監(jiān)測

溫度：集成溫度監(jiān)測和實時補償功能

結構緊湊，安裝空間有限

二次密封設計，提高保障性

直通流道

產地：美國

流體部件本體材質：聚四氟乙烯

發(fā)光體材質：硅橡膠

O 形圈材質：Perfrez PXC Ultra

非浸濕部件材質：聚丙烯、PVDF、Santoprene 護套電纜、Viton、涂層 SST 緊固件

工藝溫度：15 至 60 °C（59 至 140 °F）

工作壓力：0 至 276 kPa (0 至 40 psig)

范圍：0.02 至 10 ppm，15 °C (59 °F)

濃度分辨率：± 0.015 ppm

電氣輸入：24 VDC

電氣輸出：兩個 0 至 5 V 輸出，一個用于濃度輸出，一個用于溫度輸出；單個數(shù)字輸出，報警時從高電平 (5 V) 切換到低電平 (0 V)

可連續(xù)測量以下應用中的溶氧水平：光刻化學鍍、金屬反應電鍍化學