COHERENT準分子激光器VarioLas Eco

以功能強大的 COMPex 準分子激光器為基礎的系統(tǒng)是一種靈活的工具，可用于線光束或方形光束場形狀的高質(zhì)量紫外微加工。光學設計、堅固耐用的機械結(jié)構(gòu)以及具有脈沖間高穩(wěn)定性的準分子激光器可實現(xiàn)準確的結(jié)果。其應用包括激光分離（LLO）、摻雜離子活化、燒蝕成片和薄膜退火?？商峁?193 nm、248 nm 和 308 nm 三種波長。

高分辨率光學和機械結(jié)構(gòu)確保結(jié)果的可重復性

模塊化設計，提供量身定制的選項，使用靈活

方形光束和線形光束區(qū)域可獲得更好的效果

支持所有 COMPex 激光器型號，實現(xiàn)有效加工

產(chǎn)地：美國

磁場幾何形狀：正方形

基底場尺寸：2 x 2 mm²

光學分辨率：30 μm

工作距離：50 mm

Max重復率：100 Hz

Max 193 nm時的能量密度：2.5 J/cm²

Max 248 nm時的能量密度：7.5 J/cm²

Max 308 nm時的能量密度：6.0 J/cm²

193 nm波長的能量穩(wěn)定性：2 %，1 sigma

248 nm波長的能量穩(wěn)定性：1 %，1 sigma

308 nm波長的能量穩(wěn)定性：1 %，1 sigma

激光剝離分離

摻雜離子激活

燒蝕圖案

準分子激光退火