Ichor Systems 生產全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥,其性能和純度均達到或超過所有行業(yè)標準。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統提供高可靠性和價值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統而設計。我們所有閥門的設計均符合 SEMI 規(guī)范,具有良好的可靠性和性能,并與市場上所有競爭系統兼容??蛻繇毚_保所選部件是符合其防護性能的適當部件,同時考慮到氣體/流體輸送系統的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。
模塊化隔膜閥
1.125" C 型密封, 2 端口
氣動 N. C., PCTFE (Kel-F )
鎳 200, 高純度
純度
材料
底座材料
傳動類型
端口數
密封類型
底座尺寸
產地:美國
工作壓力:真空至 150 psig
工作溫度:-40 至 150 ℉(-40 至 66 ℃)
底座尺寸:1.125 英寸
密封類型:C 形密封
端口數:2 個端口
主體材料:鎳 200
純度等級:高純度
閥座材料:PCTFE (KEL-F)
執(zhí)行機構特征:1/8" 快速斷開連接
隔膜材料:elgiloy
流量系數:0.3 cv
潤濕表面光潔度:10 ra
清洗:超聲波清洗
驅動類型:氣動控制 n.c.
爆破壓力:4500 psig
執(zhí)行壓力:65 至 125 psig
流體輸送、半導體、制造業(yè)、集成解決方案
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