COHERENT準分子激光器IndyStar 1 kHz

IndyStar 是一款堅固耐用的高負荷循環(huán)準分子激光器，專為高達 2000 Hz 的快脈沖頻率應(yīng)用而設(shè)計?；诔墒斓?ALMETA 管技術(shù)，通過 Semi-S2 認證的 IndyStar 可在 193 nm 和 248 nm 的超短波長上運行數(shù)十億個脈沖。IndyStar 系列專為滿足工業(yè)激光器各方面的高要求而設(shè)計。

1 kHz 和 2 kHz 的重復(fù)頻率可實現(xiàn)快速處理

TimeLok 和 PowerLok 功能可實現(xiàn)脈沖控制

ALMETA 管設(shè)計確保更有效的加工

符合Semi-S2 標準和預(yù)混合氣體供應(yīng)，便于生產(chǎn)車間集成

產(chǎn)地：美國

波長：193 nm

標稱脈沖能量：8 mJ

標稱脈沖功率：8 W

Max脈沖能量：12 mJ

能量穩(wěn)定性：< 2 % sigma

Max重復(fù)率：1000 Hz

光束尺寸 (FWHM, V x H)：(5.7 ± 0.5) x (2.5 ± 0.5) mm

光束發(fā)散 (FWHM, V x H)：(2.25 ± 0.5) x (1.0 ± 0.5) mrad

脈沖持續(xù)時間 (FWHM)：5 ± 2 ns

冷卻方式：空氣/水

重量：135 kg (297 lbs.)

激光器尺寸：996.5 x 381 x 828 mm（39.2 x 15 x 32.6 英寸）

電氣：230 V（單相）/208 V（兩相），50/60 Hz，2100 VA

光罩檢測、噴墨噴嘴鉆孔、光學測試