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ICHOR止回閥MCV-18-1-3-2-B-U

產(chǎn)品介紹

Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥,其性能和純度均達(dá)到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供良好的可靠性和價(jià)值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范,具有高可靠性和性能,并與市場(chǎng)上所有競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)兼容??蛻繇毚_保所選部件是適合其防護(hù)性能的部件,同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等。

性能特點(diǎn)

模塊化止回閥

1.125" C 型密封

3 端口,316L 不銹鋼 SEMI F20 VIM/VAR

更高純

選型指南

技術(shù)參數(shù)

 

產(chǎn)地 美國
工作壓力 3000 psig
部件類型 模塊式止回閥
配置 中央
表面光潔度 5 ra
工作溫度 -28 至 200 ℃(20 至 400 ℉)
彈簧材料 elgiloy
底座尺寸 1.125"
密封類型 C-密封
端口數(shù)量 3-端口
閥體材料 316l SST semi f20 vim/var
純度等級(jí) 更高純
清洗方式 電拋光和鈍化
爆破壓力 12000 psig
密封材料 Viton

 

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案


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