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產(chǎn)品介紹
MOOG定位六足機(jī)器人適用于需要高分辨率、重復(fù)性和/或精度的六軸定點(diǎn)保持或慢速跟蹤操作。這類六自由度平行運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)定位器通常采用傳統(tǒng)斯圖爾特平臺(tái)結(jié)構(gòu)，可執(zhí)行其他技術(shù)無法實(shí)現(xiàn)的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)與測(cè)試。MOOG六足定位系統(tǒng)配備六個(gè)機(jī)電線性執(zhí)行器，可在承載高達(dá)8000 kg（或更高）負(fù)載時(shí)實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位精度。HX-P400在每個(gè)執(zhí)行器上均采用柔性端接頭和Abs式線性編碼器，以優(yōu)化重復(fù)性和精度。HX-P500具備真空兼容性，并采用預(yù)加載軸承端接頭以適應(yīng)大范圍運(yùn)動(dòng)。 這兩款六自由度定位平臺(tái)均采用高剛性設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高共振頻率與快速穩(wěn)定時(shí)間，滿足望遠(yuǎn)鏡副鏡定位器及大型光學(xué)對(duì)準(zhǔn)應(yīng)用的嚴(yán)苛要求。MOOG六足定位系統(tǒng)通?？蛇M(jìn)行定制化改造，以滿足特定項(xiàng)目需求。
性能特點(diǎn)
高分辨率、重復(fù)性、精度
六軸定點(diǎn)保持或慢速跟蹤操作
六個(gè)機(jī)電線性執(zhí)行器
承載高達(dá)8000 kg（或更高）負(fù)載
高共振頻率與快速穩(wěn)定時(shí)間
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
美國(guó) |
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Max有效載荷質(zhì)量 |
8000 kg |
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尺寸（直徑×高度） |
1650×720 mm |
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六足機(jī)器人質(zhì)量 |
625 kg |
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運(yùn)動(dòng)范圍 |
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X（橫向） |
± 20 mm |
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Y（縱向） |
± 20 mm |
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Z（垂直） |
± 15 mm |
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滾轉(zhuǎn) |
± 1.2? |
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俯仰 |
± 1.2? |
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偏航 |
± 0.5? |
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Min增量步進(jìn)尺寸 |
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X（橫向） |
1 μm |
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Y（縱向） |
1 μm |
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Z（垂直） |
1 μm |
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橫滾 |
<1 μrad |
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俯仰 |
<1 μrad |
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偏航 |
1 μrad |
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重復(fù)定位精度（雙向） |
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X（橫向） |
10 μm |
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Y（縱向） |
10 μm |
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Z（垂直） |
3 μm |
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橫滾 |
3 μrad |
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俯仰 |
3 μrad |
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偏航 |
10 μrad |
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驅(qū)動(dòng)類型 |
無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠 |
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傳感器類型 |
Abs線性編碼器 |
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端接結(jié)構(gòu) |
柔性連接器 |
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真空兼容性 |
可定制 |
產(chǎn)品應(yīng)用
望遠(yuǎn)鏡光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、光學(xué)系統(tǒng)測(cè)試、光束/激光指向定位、望遠(yuǎn)鏡次鏡定位器、同步輻射裝置組件對(duì)準(zhǔn)
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