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Entegris 的 GateKeeper GPU 氣體純化器旨在提高對(duì)高純度氣體要求較高的微電子應(yīng)用中的純度一致性、使用壽命和純度。利用我們?cè)诓牧峡茖W(xué)方面的研發(fā)知識(shí)，我們開(kāi)發(fā)出了新一代 FX 氣體凈化產(chǎn)品，具有更高的價(jià)值和性能。

過(guò)程控制和保護(hù)

使用簡(jiǎn)單

純度控制低于十億分之一 (ppb) 級(jí)

凈化器壓降低

使用壽命長(zhǎng) - 提高擁有成本

使用環(huán)境溫度凈化 - 運(yùn)行時(shí)無(wú)需加熱或供電

對(duì)方向（水平/垂直）不敏感

額外的閥門(mén)和管道，以便工藝氣體可以繞過(guò)凈化器

3 閥門(mén)和 5 閥門(mén)旁路組件（單獨(dú)銷(xiāo)售）

產(chǎn)地	美國(guó)
凈化的氣體	HF
去除雜質(zhì)	H₂O
出口純度	< 1 ppbV
出口顆粒過(guò)濾器	Wafergard
表面處理	鎳膜或不銹鋼膜
過(guò)濾范圍	20 μm 或 0.0015 μm
使用壽命	一年
入口濕度	1 ppm
可再生	否
危險(xiǎn)品 (DG)	否
工作溫度	0 至 65 ℃；32 至 149 ℉
泄漏等級(jí)	1 × 10^-9 atm cc/sec He
結(jié)構(gòu)材料外殼	316L 不銹鋼

半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、平板顯示器、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能

ENTEGRIS管式純化器GPUS20MFIX16RO2CA

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產(chǎn)品介紹

性能特點(diǎn)

選型指南

可選功能與配件

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

品質(zhì)保證

售后保障

合作共贏

西納工業(yè)