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SENS4真空規(guī)VPM-7-10202133

產(chǎn)品介紹

SENS4 A/S VPM-7 SmartPirani ATM傳感器專為半導(dǎo)體負載鎖壓力控制和其他需要準(zhǔn)確測量相對于大氣環(huán)境壓力的應(yīng)用而設(shè)計。SENS4 A/S VPM-7 提供了同類中更好的性能,具有更寬的測量范圍、更高的精度和比傳統(tǒng)負載鎖傳感器更快的測量周期,以及其他負載鎖傳感器解決方案。SENS4 SmartPirani ATM通過將熱導(dǎo)率Pirani熱損失真空計的可使用測量范圍擴展1-3個數(shù)量級,建立了新的標(biāo)準(zhǔn)。 SENS4 VPM-7 是一款多傳感器變送器,具有四個壓力輸出:一個氣壓環(huán)境傳感器、一個寬范圍熱損失 Pirani 傳感器、一個膜片傳感器,以及一個與大氣壓力相關(guān)的信號,它們共同作用于現(xiàn)代負載鎖真空腔,以優(yōu)化準(zhǔn)確的壓力控制。膜片傳感器提供從 2 到 1333 mbar(1.5 到 1000 Torr)的氣體獨立讀數(shù)。

性能特點

15 針 HD D-Sub 公頭/雙模擬輸出

1E-6 至 1333 mbar 寬測量范圍

MEMS Pirani 和壓電傳感器組合

獨立于 2 至 1333 mbar的氣體

用于負載鎖定壓力控制的大氣切換功能

數(shù)字、模擬和設(shè)定點控制功能

選型指南

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細節(jié)

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -(返回)

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - (返回)

7 繼電器 1 NO(常開觸點)

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC(常閉觸點)

10 繼電器 2 NC(常閉觸點)

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開(常開觸點)

13 繼電器 3 常開(常開觸點)或模擬輸出 2

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開(常開觸點)

可選功能與配件

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB、15 針 HD D-sub、電源(90 至 230 VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源(90 至 230 VAC)

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉(zhuǎn) USB,9 針 D 型超微,電源(90 至 230 VAC)

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB,9 針 D 型超微,電源 (90 至 230 VAC)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:丹麥

真空法蘭/傳感器保護:DN16KF

數(shù)字接口:RS-485 / S4-Connect (9 針和 15 針 D-sub)

模擬輸出:1.0 至 9 VDC 1 VDC/Dec (MKS 901P/925/910)

單位:torr

設(shè)置點:3 個固態(tài)繼電器

連接:15 針 HD D-Sub 公頭/雙模擬輸出

測量范圍:1E-6 至 1333 mbar

模擬輸出分辨率:16 位 (150 μV)

模擬輸出更新率:124 Hz

響應(yīng)時間(ISO 19685:2017):<20 ms

溫度補償:+10 至 +50 ℃

固態(tài)繼電器設(shè)定點范圍:5×10-6 至 1333 mbar(3.75×10-6 至 1000 Torr)

固態(tài)繼電器觸點額定值:50 V、100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認證:UL 認可:文件 E76270;CSA 認證:證書 1175739;EN/IEC 60950-1 認證

工作環(huán)境溫度:-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度:-20 至 +50 ℃

儲存環(huán)境溫度:-40 至 +120 ℃

烘烤溫度(非工作):+120 ℃

Max介質(zhì)壓力Abs:10 bar

安裝位置:任意

保護等級,EN 60529/A2:2013:IP 40

濕度,IEC 68-2-38:98%,無冷凝

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

真空熱處理爐、空間環(huán)境模擬、質(zhì)譜儀、半導(dǎo)體、電子顯微鏡、PVD鍍膜


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